| 1990年4月 | 大阪府吹田市南金田において、資本金10,000千円で株式会社メガチップス（実質上の存続会社）を設立 受託開発事業を開始 |
| 1990年12月 | 本店を大阪府吹田市江坂町へ移転 |
| 1991年8月 | 顧客専用LSI事業を開始 |
| 1994年3月 | Macronix International Co.,Ltd.との間で販売代理店契約締結 |
| 1994年7月 | Macronix International Co.,Ltd.との間で任天堂向けゲームソフトウェア格納用LSIに関する共同開発契約締結 |
| 1995年3月 | 任天堂株式会社、Macronix International Co.,Ltd.との三者間で任天堂製ゲーム機に使用するゲームソフトウェア格納用LSIに関する製造委託契約締結 |
| 1995年9月 | 自社ブランドLSI事業を開始 |
| 1995年10月 | システム製品事業を開始 |
| 1996年1月 | 本店を大阪市淀川区宮原へ移転 |
| 1996年4月 | 株式の額面金額50,000円を500円に変更するため、1996年４月１日株式会社メガチップス（形式上の存続会社）と合併 |
| 1998年2月 | 東日本の営業拠点として、東京営業所を設置 |
| 1998年8月 | 日本証券業協会に株式を店頭登録 |
| 1998年12月 | システム製品の販社として、株式会社ビジュアルコミュニケーションを三井物産株式会社と合弁にて設立 |
| 2000年4月 | 株式会社ビジュアルコミュニケーションと株式会社カメオインタラクティブが合併し、商号を株式会社メガフュージョンに変更 |
| 2000年12月 | 東京証券取引所市場第一部に上場 |
| 2001年8月 | 株式会社メガフュージョンが日本証券業協会に株式を店頭登録 |
| 2003年10月 | 株式会社メガフュージョン（後の株式会社メガチップスシステムソリューションズ）との間で同社を完全子会社とする株式交換を実施 |
| 2004年2月 | 国際的な環境マネジメントシステムである「ISO14001」の認証を取得 |
| 2004年4月 | LSI事業及びシステム事業を分割し、LSI事業については新設の株式会社メガチップスLSIソリューションズに、システム事業については株式会社メガチップスシステムソリューションズに承継させると共に、持株会社へ移行 株式会社メガチップスシステムソリューションズのオーディオ・オーサリング事業を分割し、新設の株式会社カメオインタラクティブに承継 |
| 2004年10月 | オーディオ・オーサリング事業を行う株式会社カメオインタラクティブの発行済株式全部をイーフロンティアグループへ売却 |
| 2005年5月 | 順盈投資有限公司（英文名「Shun Yin Investment Ltd.」、現・連結子会社）の株式取得 Macronix International Co.,Ltd.との間で業務提携を締結 |
| 2006年3月 | 国際的な品質マネジメントシステムである「ISO9001」の認証を取得 |
| 2007年4月 | 株式会社メガチップスLSIソリューションズ及び株式会社メガチップスシステムソリューションズを吸収合併 |
| 2012年7月 | ジェイ エフ イー ホールディングス株式会社から川崎マイクロエレクトロニクス株式会社の発行済株式の全部を取得し、同社を完全子会社化 |
| 2013年3月 | Kawasaki Microelectronics America, Inc.が、米国持株会社のKawasaki Microelectronics Holdings (USA), Inc.を吸収合併し、MegaChips Technology America Corporationに商号変更 |
| 2013年4月 | 川崎マイクロエレクトロニクス株式会社を吸収合併 |
| 2013年9月 | 台湾にアジア地域の統括拠点として、信芯股份有限公司（英文名「MegaChips Taiwan Corporation」、現・連結子会社）を設立 |
| 2014年9月 | MegaChips Technology America Corporationが、STMicroelectronicsからSmart Connectivity (DisplayPort)事業を譲受 |
| 2014年11月 | MEMSタイミングデバイス事業を営むSiTime Corporationを買収し、同社を完全子会社化 |
| 2019年1月 | システム事業を分割し、株式会社豆蔵ホールディングスの子会社であるセンスシングスジャパン株式会社に承継 |
| 2019年11月 | SiTime CorporationがNASDAQ Global Marketに上場 |
| 2019年12月 | MegaChips Technology America Corporationが、Smart Connectivity (DisplayPort)事業をKinetic Technologiesへ譲渡 |
| 2020年3月 | MegaChips Technology America CorporationのLSI事業をMegaChips LSI USA Corporation（現・連結子会社）に営業譲渡により移管 |
| 2020年6月 | 連結子会社のSiTime Corporation株式の一部を売却し、同社を関連会社化 |
| 2021年6月 | MegaChips LSI USA Corporationの出資により、コーポレートベンチャーキャピタルファンドのMegaChips VC USA LLC（現・連結子会社）を設立 |
| 2022年4月 | 東京証券取引所の市場区分変更に伴い、市場第一部からプライム市場に移行 MegaChips LSI USA Corporationの出資により、コーポレートベンチャーキャピタルファンドのMegaChips VC2 USA LLC（現・連結子会社）を設立 |
| 2023年1月 | LDVP MCC Co-Investment Fund, L.P.（現・連結子会社）に、当社及びMegaChips LSI USA Corporationが出資し、同ファンドを子会社化 |
| 2024年3月 | 関連会社のSiTime Corporationを持分法適用の関連会社から除外 |