| 1963年11月 | ㈱東京放送の関係会社として東京都港区に㈱東京エレクトロン研究所を設立(資本金5百万円)。VTR、カーラジオ等の輸出及び電子機器関係の輸入業務を開始 |
| 1972年4月 | Tokyo Electron America, Inc.(旧 TEL America, Inc.)設立 |
| 1978年10月 | 株式の額面金額を500円から50円に変更するため、東京エレクトロン㈱(旧 桜洋行㈱)に形式上合併される |
| 1980年6月 | 東京証券取引所市場第二部上場 |
| 1984年3月 | 東京証券取引所市場第一部へ指定替え |
| 1990年1月 | テル・ジェンラッド㈱(1981年9月設立)の全株式を取得し、テル山梨㈱(1983年7月設立、旧 テル・ラム㈱)に吸収合併(新会社名 東京エレクトロン山梨㈱) |
| 1990年8月 | 東京エレクトロンＦＥ㈱設立 |
| 1990年9月 | 東京エレクトロン デバイス㈱(1986年3月設立、旧 テル管理サービス㈱)が電子部品販売を開始 |
| 1993年4月 | 東京エレクトロン相模㈱(1968年2月設立、旧 テル・サームコ㈱)と東京エレクトロン東北㈱(1986年7月設立、旧 テル東北エレクトロニクス㈱)を合併(新会社名 東京エレクトロン東北㈱) 東京エレクトロン佐賀㈱(1991年4月設立)と東京エレクトロン九州㈱(1987年1月設立、旧 テル九州㈱)を合併(現 東京エレクトロン九州㈱) |
| 1993年9月 | Tokyo Electron Korea Ltd.(旧 Tokyo Electron FE Korea Ltd.)設立 |
| 1994年4月 | 欧州(英国)現地法人Tokyo Electron Europe Ltd.設立 |
| 1996年1月 | Tokyo Electron Taiwan Ltd.設立 |
| 2001年4月 | 東京エレクトロン山梨㈱と東京エレクトロン宮城㈱(1997年4月設立)を合併(新会社名 東京エレクトロンＡＴ㈱) |
| 2002年1月 | 中国現地法人Tokyo Electron (Shanghai) Logistic Center Ltd.(旧 Tokyo Electron (Shanghai) Ltd.)設立 |
| 2003年3月 | 東京エレクトロン デバイス㈱東京証券取引所上場 |
| 2003年4月 | 中国現地法人Tokyo Electron (Shanghai) Ltd.設立 |
| 2003年10月 | 東京エレクトロン リース㈱(1973年5月設立)と東京エレクトロン ロジスティクス㈱(1968年6月設立)を合併(現 東京エレクトロンＢＰ㈱) |
| 2004年4月 | 東京エレクトロンＡＴ㈱と東京エレクトロン東北㈱を合併(新会社名 東京エレクトロンＡＴ㈱) |
| 2004年7月 | Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.設立 |
| 2010年7月 | 東京エレクトロン宮城㈱設立 |
| 2011年4月 | 東京エレクトロンＡＴ㈱の商号を東京エレクトロン山梨㈱に変更 |
| 2012年4月 | Tokyo Electron Singapore Pte. Ltd.設立 |
| 2014年4月 | 東京エレクトロン デバイス㈱株式の一部を売却し、当社の連結子会社から持分法適用関連会社へ異動 |
| 2017年7月 | 東京エレクトロン山梨㈱と東京エレクトロン東北㈱(2006年4月設立)を合併(現 東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ㈱) |
| 2022年4月 | 東京証券取引所の市場区分の見直しにより、市場第一部からプライム市場に移行 |