| 1980年9月 | 日本フェローフルイディクス株式会社を、フェローフルイディクス社が東京都港区に設立し、コンピュータシール、真空シールおよび磁性流体の輸入販売を開始 |
| 1982年12月 | 千葉工場を千葉県八日市場市（現 匝瑳市）に建設 |
| 1983年1月 | コンピュータシールおよび真空シールの製造を開始 |
| 1987年4月 | 久保田鉄工株式会社（現 株式会社クボタ）等が、フェローフルイディクス社より当社全株式を譲受 |
| 1988年4月 | 磁性流体の製造を開始 |
| 1992年1月 | 杭州大和熱磁電子有限公司を中国浙江省杭州市に設立し、サーモモジュールの製造を開始 |
| 1995年5月 | 上海申和熱磁電子有限公司（現 上海申和投資有限公司）を中国上海市に設立 |
| 1995年10月 | 商号を株式会社フェローテックに変更 |
| 1996年10月 | 当社株式を日本証券業協会に店頭登録 |
| 1997年7月 | シンガポールのラップ社（現 FERROTEC CORPORATION SINGAPORE PTE LTD.）の株式を取得し、東南アジアでの販売および技術開発の強化 |
| 1999年11月 | フェローフルイディクス社を株式公開買付により買収し、Ferrotec（USA）Corporationへ商号変更 |
| 2001年10月 | 本社を東京都中央区に移転 |
| 2004年12月 | 日本証券業協会への店頭登録を取消し、ジャスダック証券取引所に株式を上場 |
| 2005年3月 | 上海漢虹精密機械有限公司を中国上海市に設立 |
| 2005年7月 | ＳＣＴＢ ＮＯＲＤ社（現 Ferrotec Nord Corporation）の株式を取得 |
| 2006年9月 | 台湾飛羅得股份有限公司を台湾に設立 |
| 2008年3月 | 香港漢虹新能源装備集団有限公司（現 香港第一半導体科技股份有限公司）を香港に設立 |
| 2008年7月 | 住金セラミックス・アンド・クオーツ 株式会社の株式を取得し、株式会社フェローテックセラミックスへ商号変更 |
| 2010年4月 | ジャスダック証券取引所と大阪証券取引所の合併に伴い、大阪証券取引所ＪＡＳＤＡＱに上場 |
| 2011年4月 | 寧夏銀和新能源科技有限公司（現 寧夏申和新材料科技有限公司）・寧夏富楽徳石英材料有限公司（現 寧夏盾源聚芯半導体科技股份有限公司）を中国寧夏回族自治区銀川市に設立 |
| 2013年7月 | 株式会社東京証券取引所と株式会社大阪証券取引所の統合に伴い、東京証券取引所ＪＡＳＤＡＱに株式を上場 |
| 2014年7月 | 杭州大和江東新材料科技有限公司を中国浙江省杭州市に設立 |
| 2015年6月 | 四川富楽徳科技発展有限公司を中国四川省内江市に設立 |
| 2015年7月 | 株式会社アドマップの株式を取得し、CVD-SiC事業を開始 |
| 2017年4月 | 吸収分割により、製造および営業事業を株式会社フェローテック（株式会社フェローテック分割準備会社より商号変更）へ承継し、株式会社フェローテックホールディングスへ商号変更 |
| 2017年9月 | 杭州中芯晶圓半導体股份有限公司（現 杭州中欣晶圓半導体股份有限公司）を中国浙江省杭州市に設立 |
| 2017年12月 | 安徽富楽徳科技発展有限公司（現 安徽富楽徳科技発展股份有限公司）を中国安徽省銅陵市に設立 |
| 2018年3月 | 江蘇富楽徳半導体科技有限公司（現 江蘇富楽華半導体科技股份有限公司）を中国江蘇省東台市に設立 |
| 2018年12月 | 杭州盾源聚芯半導体科技有限公司を中国浙江省杭州市に設立 |
| 2019年9月 | 安徽富楽徳長江半導体材料股份有限公司を中国安徽省銅陵市に設立 |
| 2020年1月 | 株式会社フェローテックセラミックスが、株式会社アドマップと合併し、株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズへ商号変更 |
| 2020年7月 | 株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズが、株式会社フェローテックと合併（存続会社は株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズ） |
| 2020年10月 | 浙江富楽徳石英科技有限公司を中国浙江省衢州市に設立 |
| 2022年3月 | 浙江盾源聚芯半導体科技有限公司を中国浙江省衢州市に設立 |
| 2022年4月 | 東京証券取引所の市場区分見直しにより、東京証券取引所ＪＡＳＤＡＱからスタンダード市場に移行 |
| 2022年7月 | Ferrotec Manufacturing Malaysia Sdn. Bhd.をマレーシア ケダ州に設立 |
| 2022年8月 | 当社持分法適用会社である東洋刄物株式会社の株式を公開買付により取得 |
| 2022年12月 | 当社持分法適用会社である株式会社大泉製作所（東京証券取引所のグロース市場）の株式を公開買付により取得し連結子会社化 |
| 2023年3月 | 当社連結子会社である安徽富楽徳科技発展股份有限公司が深圳創業板市場にて株式公開 |
| 2024年3月 | 浙江富楽徳半導体材料科技有限公司を中国浙江省衢州市に設立 |