| 2010年12月 | 東京都品川区において、シリコンウェーハ再生事業を主たる事業として株式会社RS Technologiesを設立 ラサ工業株式会社からシリコンウェーハ再生事業に関する装置を購入し、三本木工場（宮城県大崎市）の工業棟を賃貸借契約を締結するとともに、ラサ工業株式会社を退職した従業員の一部を雇用 |
| 2011年1月 | 三本木工場において操業開始 |
| 2011年11月 | 三本木工場がUKAS（注１）より「ISO9001:2008」（品質マネジメントシステム）認証取得 |
| 2013年3月 | 東京都公安委員会より古物商許可証を取得 半導体生産設備の買取・販売を開始 |
| 2013年10月 | 三本木工場においてソーラー事業を開始 |
| 2014年2月 | 台湾に子会社として艾爾斯半導体股份有限公司（現・連結子会社）を設立 |
| 2015年3月 | 東京証券取引所マザーズに株式を上場 |
| 2015年6月 | 三本木工場第８工場竣工 |
| 2015年12月 | 艾爾斯半導体股份有限公司（現・連結子会社）の台南工場竣工 |
| 2016年9月 | 東京証券取引所市場第一部へ市場変更 |
| 2018年1月 | 中国北京市に北京有色金属研究総院及び福建倉元投資有限公司との合弁会社である北京有研RS半導体科技有限公司（現・連結子会社）を設立するとともに、有研半導体材料有限公司（現・連結子会社）を連結子会社化 |
| 2018年5月 | 株式会社ユニオンエレクトロニクス（現・株式会社ユニオンエレクトロニクスソリューション（現・連結子会社））の株式を全て取得し連結子会社化 |
| 2018年8月 | 中国徳州市に子会社として山東有研半導体材料有限公司（現・連結子会社）を設立 |
| 2019年1月 | 株式会社DG Technologies（現・連結子会社）の株式を全て取得し連結子会社化 |
| 2020年2月 | 中国上海市に子会社として上海悠半導体有限公司を設立 |
| 2020年3月 | 中国徳洲市に山東有研RS半導体材料有限公司（現・持分法適用会社）を設立並びに中国北京市に子会社として有研艾唯特（北京）科技有限公司を設立 |
| 2020年7月 | 山東有研RS半導体材料有限公司へ出資を行い、持分法適用会社化 |
| 2021年6月 | 有研半導体材料有限公司は組織形態を株式会社へ変更するとともに社名を変更（新社名：有研半導体硅材料股份公司） |
| 2022年4月 | 東京証券取引所の市場区分の見直しにより市場第一部からプライム市場へ移行 |
| 2022年11月 | 有研半導体硅材料股份公司が上海証券取引所科創板市場に株式を上場 |
| 2023年10月 | 子会社として株式会社LEシステム（現・連結子会社）を設立 中国徳州市に子会社として艾唯特（徳州）バルブ科技有限公司（現・連結子会社）を設立 |