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1969年4月
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米国ゼネラル・エレクトリック社（GE）開発のニュクリポアー・メンブレン（超精密ろ過膜）の日本及び極東地区独占販売を目的に、東京都中央区日本橋本石町において設立 |
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1972年12月
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NPC社（Nuclepore Corporation）をGE社と共同で設立し、NPC社の株式23％を取得 |
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1973年11月
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北興化学工業株式会社ニュクリポアー部門の人員・資産を野村マイクロ・サイエンスに統合し、ニュクリポアー・メンブレンと関連機器の製造販売体制の一体化を図る |
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1974年1月
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米国アクアメディア社の超純水技術を導入、超純水製造システムに進出 |
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1976年3月
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RO（逆浸透膜）によるパイロジェン（細菌の菌体成分の一部）除去システムを開発し、国内製薬会社に納入 |
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1977年7月
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本社を東京都中央区日本橋鍛冶町に移転 |
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1980年7月
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逆浸透装置の国産化を図るため、日本アクアメディア株式会社（1991年8月株式会社ナムテックに商号変更）を米国アクアメディア・日揮株式会社（現日揮ホールディングス株式会社）・野村マイクロ・サイエンスの3社合弁により設立（野村マイクロ・サイエンス出資比率33.3％） |
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1981年2月
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本社を東京都千代田区大手町に移転 |
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1983年2月
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韓国三星半導体通信（当時）に超純水装置を輸出し、韓国市場に進出 |
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1983年11月
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GE社とともにNPC社株式をスウェーデン・ボニエールグループに譲渡 |
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1984年9月
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厚木営業所開設 |
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1987年7月
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台湾・極水股份有限公司に超純水装置を納入し、台湾市場に進出 |
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1991年8月
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新社屋を厚木市岡田に建設し、本社を同所に移転 |
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1993年12月
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三星電子からのメンテナンス受注のため、韓国に合弁会社株式会社野村テクノを設立（野村マイクロ・サイエンス出資比率50％ 1999年8月株式会社野村コリアに商号変更 現在の野村マイクロ・サイエンス出資比率100％） |
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1995年5月
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台湾での超純水装置受注を図るため、台湾支店を開設（台湾・新竹市）（2015年10月閉鎖） |
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1996年1月
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三星電子の米国進出に伴う超純水装置納入のため、米国に100％子会社野村マイクロ・サイエンス USA,Inc設立（2002年5月清算） |
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1997年9月
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韓国・LG半導体の英国進出に伴う超純水装置納入のため、100％子会社野村マイクロ・サイエンス UK Ltd.設立（2001年11月清算） |
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1998年10月
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株式会社ピュアレックスが保有する特許の事業化を目的として、同社との合弁で株式会社野村ピュア設立（野村マイクロ・サイエンス出資比率71％） |
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1999年8月
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経営効率化のため、株式会社ナムテックを100％子会社化 |
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2000年3月
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ポリ弗化ビニリデン（PVDF）製品の販売のため、オーストリア・アグルー社と合弁で株式会社アグルー・ジャパン設立（野村マイクロ・サイエンス出資比率80％） |
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2001年2月
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中国での超純水装置販売のため、台湾・Hantech社との合弁で中国に上海野村水処理国際貿易有限公司設立（野村マイクロ・サイエンス出資比率70％） |
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2005年8月
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経営効率化のため、株式会社野村ピュアを100％子会社化 |
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2005年9月
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経営効率化のため、株式会社アグルー・ジャパンを100％子会社化 |
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2006年1月
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経営資源の有効活用のため、株式会社ナムテック及び株式会社アグルー・ジャパンを野村マイクロ・サイエンスに吸収合併 |
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2006年2月
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三星電子の米国現地法人からの超純水装置納入のため、米国に100％子会社野村マイクロ・サイエンス USA Ltd.,Co設立 |
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2006年8月
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シンガポールでの超純水装置受注を図るため、100％子会社野村マイクロ・サイエンス (Singapore) Pte Ltd設立（2008年12月清算） |
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2006年12月
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経営効率を高めるため、上海野村水処理国際貿易有限公司の出資持分を台湾・Hantech社に譲渡 |
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2007年10月
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ジャスダック証券取引所（現東京証券取引所JASDAQ（スタンダード））に株式を上場 |
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2008年2月
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排水処理事業の拡大を図るため、株式会社クラレとの合弁でクラレアクア株式会社設立（野村マイクロ・サイエンス出資比率45％ 2012年3月合弁解消） |
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2009年4月
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プラスチック製配管材料の販売強化のため、アグループラスチック株式会社を新設分割（野村マイクロ・サイエンス出資比率100％） |
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2009年6月
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中国での超純水装置及び消耗品等の販売強化のため、上海日村商貿有限公司設立（野村マイクロ・サイエンス出資比率100％ 2015年12月清算） |
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2011年1月
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台湾での超純水装置及び消耗品等の販売強化のため、台湾に野村微科學工程股份有限公司設立（野村マイクロ・サイエンス出資比率100％） |
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2011年11月
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海外での研究開発体制構築のため、韓国に株式会社NAD設立（野村マイクロ・サイエンス出資比率100％） |
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2012年5月
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中国での排水処理事業拡大のため、野村マイクロ・サイエンス100％子会社である上海野村水処理工程有限公司が中国に設立した銅仁市栄盛興環保科技工程有限公司に出資（同子会社の出資比率35％ 2016年9月に持分法適用関連会社から除外） |
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2012年8月
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野村マイクロ・サイエンスグループの海外事業拡大を図るため、新たな海外拠点としてベトナムに駐在員事務所を開設（2016年12月閉鎖） |
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2013年3月
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韓国企業の中国進出に伴い、上海野村水処理工程有限公司が西安支店を開設 |
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2013年5月
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韓国企業の中国進出に伴い、上海野村水処理工程有限公司が広州支店を開設 |
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2013年11月
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株式会社NAD（現 株式会社野村マイクロ・サイエンス コリア）が韓国京畿道華城市に研究所を設置 |
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2013年12月
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中国貴州省の浄水・汚水処理事業に参画するため、黔東南州凱創水資源環保科技工程有限公司（野村マイクロ・サイエンス出資比率99％、2017年8月上海野村水処理工程有限公司が共同出資者から出資持分1％を取得）を設立（2018年11月野村マイクロ・サイエンス及び上海野村水処理工程有限公司の出資持分全部を譲渡） |
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2014年1月
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韓国における経営資源を集約し、グループ経営の効率化・合理化を図るため株式会社野村コリアを存続会社として株式会社NADを吸収合併、株式会社野村コリアの商号を株式会社野村マイクロ・サイエンス コリアに変更 |
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2018年8月
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ベトナムでの超純水装置及びメンテナンス・消耗品販売のため野村マイクロ・サイエンス（Vietnam）Co.,Ltdを設立（野村マイクロ・サイエンス出資比率100％ 2021年3月に清算決議） |
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2018年12月
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AEO制度（関税手続きの簡素化・迅速化等のメリットを与える制度）における「特定輸出者」の承認を受ける |
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2020年5月
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東京証券取引所JASDAQ（スタンダード）から同取引所市場第二部に市場変更 |
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2021年6月
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東京証券取引所市場第一部銘柄に指定 |
