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（単位：百万円）
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2015/03
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2016/03
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2017/03
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2018/03
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2019/03
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2020/03
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2021/03
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2022/03
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2023/03
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2024/03
|
2025/03
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半導体製造装置
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56,198
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71,745
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103,360
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112,365
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100,055
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113,481
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|
計測機器
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|
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|
|
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31,728
|
25,359
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29,917
|
34,436
|
34,624
|
37,053
|
|
（単位：百万円）
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2015/03
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2016/03
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2017/03
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2018/03
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2019/03
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2020/03
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2021/03
|
2022/03
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2023/03
|
2024/03
|
2025/03
|
|
半導体製造装置
|
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|
|
|
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7,915
|
13,565
|
24,893
|
29,866
|
19,899
|
24,311
|
|
計測機器
|
|
|
|
|
|
4,366
|
1,996
|
3,657
|
4,628
|
5,408
|
5,392
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